evaluation of sims depth resolution using delta-doped multilayers and mixing–roughness-information...
TRANSCRIPT
��������� � �� � ����� ��������� ���� ���������������������� �� ����������������������� ����� �����
�� ��������� � !����"� � !������#� !� ��������� �� !��������$� %����� � ����� &� �����'��
���� ������� ������ � ������������ ���� �� ���� ��� ��������� �����"��� ���� !���� "�#��������� ���� �� ���� ��� ������$%� �����
#��� "�& '��� ��� (������)���� "�#��������� ���� �� ���� ��� ������$%� ������������� ������ � !���� "�#�� ������ '�� ������������ *������ ��#� �$��%+��� �����
�*������ �& (� ����� � �� ��� ,������� �& ������ �� �� ���� ���� �--�%+++� �����*������ �& (�������� (� ����� � '������ .��������� ��� ���� /��0� +1��%+�%� �����
�*������ �& ,�&��)����� '���� ��� ������ �� /��0� ,������� �& ������ �� 2���0���� /��0� +1����$-� �����
��������
(��� ����������� ����������� ��� �������� �����#� ��������� �� ��� ��������� � ����� ��������� � ��#����� �� ����
���#�������� )�� �*� � ���� +���� +� ������� �����#��� � ����� ��������� ���������� ���� � ��������#�� ������ ������
����������������� ) &�* ����� ����� ��� ��� �������� ���,��� ���� ������� -.� "��"������ #�������� ���#����
���� +��� "��� ����������� ����������� � �� )������/ 0�.1 �* +��#� ��� "�� ���� "� ����������������� ���������� 2��
�� �� �������� ����� #� "� �������� �� "� ���� ������ �� +� ���� ��� ��� �+� ���������� #�#���� ����� ��
��������� ������� ( ���,��� +��� ,���� +��� �� ��� &������� ��� ����� ��������� ���������� #���� "� �����#��� ��� ���
� ���,�� � ����������� +��� � ����� �������#���� ��� #��"����� � ������������ ����������� �� &� ����� ������� +���� "�
����� �� ��������� � ����� ��������� � ������+ ����� ���,����
� .11. �������� �#��#� (�3� ��� ������ ���������
�������3 �� �4 5����4 (���4 ����#�4 ����������4 &�
� ���� ������
(��� ����������� ����������� ��� �������� �����
�#� ��������� �� ��� ��������� � ����� ��������� �
��#����� �� ���� ���#�������� )�� �*� ���� #�
���� ��� ������������� ����� ��������� �� +��� ��
��� ��������� ����� � � ����� ����� ���,��� ���� ��
����#����� ����� � ������+ ����� ���,���� !�+�����
��� ������ � ��������� ��������� ��������� ����
����������� ����������� ��� �� "�� ����"������� �
���� +���� +� ������� �����#��� � ����� ���������
���������� ���� � ��������#�� ������ ��� ������
����������������� ) &�* ����� ����� 678� ���
��� �������� ���,��� ���� ������� ��������� #����
����� 9� ���� ��������� +������ ��� &� ����� ��
�����#�"�� �� ��� ���#��� +��� � ����+ ������� �
����������� �������
� ������������
���#���� ���� +��� "��� ������ )(:* ������
����� ����������� �������� "� ���������������
������� ����#� �#��#� .10�.1; ).110* .<;�.<=
� >���������� ������� ����?��/ �@7�;A�.B1�7A=@�(�)��� ������3 �����C�������������#��D� )�� �����*�
17A<�;00.?1.?E � ��� ��� ������ � .11. �������� �#��#� (�3� ��� ������ ���������
F��/ � 1 7 A < � ; 0 0 . ) 1 . * 1 1 A A . � 7
���������� ��� ����������� #������� � ��� �� ���#��
�� (: ����� ����� +��� � "��� �� ����� � ���
��)1 1 7* ��"������� ��� (: ����� ����� ���#����
#���������� �� 1�11. � )1�11= �������� #�����
���*� �� ��� �� ���#�� ����� ���#���� +�� < �� .1 ��
�� � ����������� +��� �������� +��� -.� "���
"������ �� �������� �� ����#��� ���� � ��-�
�$� �� � ;111 ������� ��� ������� �� �����
+�� ������ ��� 7�B �� ; ��3 �� ��� �#���� �����
���� +��� <�� ;B� �� A0� �� ��� ����#� ������ � ��� &� ������ ����� ����������� �������� ����� )�*������ ����� ��� �� �������� ��������� )�* ������� �� ���#��"� � ���,�� 678� � �� �� ��#� ����
��#����� ��� ��� ������� ��� ��� ,��� ����� � ���
����#� 6.8� ��� �������� ����� �� ��#� ������� ���
��� ����� �+� ���������� �� ������ �� ��������
��������� � +�� ��� �� 1 � ���� +���� � ��� �������� ��� ����� ������� ,���� � ��� ������� ���� � ���
���,�� +�� ,��� #������ ��� �� �"��� ��� � ����������
�� ��"��G������ �+�� ��������� ��� ,���� � ������� ����� � ��� ���,��� ��� #��#������ +�� ����
����� �� 1�7 � ���������
� ������� �� ���������
2��� 7 ���+� � "��� ���,�� �������� ����
7�B ��3 -.� �� ;B� �������� +��� ��� ,���� #���� "�
��� &� ������ ��� ����������� ������ �� "�#��
����� ( #�#�������� ������� �� ���� #��#������
��� ���� ���+� ��� &� ,���� +�� #������ ��� ��
�������#� ��� +���� ����� ����� ���,�� �#����� ���
#��������� ����� �� ��� �����#� +��� ��� ��"�������
2�� ��� "��� ,����� � �� � +��� 7�= �� 7�; �������#������� +�� ��� ���#���� � ��#� ����� �����
+�� ��� �� 1�; �� H��� ����� ���������� #����
����� ���,��� +��� ����'�� � ��� ���� +�� �� ���
,���� ���������� +��� ����������
2��� . ���+� ��� ������� �� ������������#� �
� �� ��#� ���� � �#���#�� ��� �#������� � ��� �
����� �� +���� 1�7 �� ��� � ����� "�#���� �������
+��� ��#������ ������� �� ������ ��� ���� �� ;B��� A0� ��� #������"��� +���� ��� <� ���� ��� ���������� ��� ������� H��� ��� <� ���������� #������� ���-. ����� �� ����� ��� �� ����� �##�������� �
��� ����#�� ���� ��� ����#� #��������� �� ������
��� ���� ���� ��� ����� �"��G�� ���������� #����
����� 5�� �� ��� �#����� � ������ ����� "� �����
���� �#��������� ��� ��� ��-. ������ ��� �����
���� �� ��� ��"������ �� ����� ���������� �� ����#���
���� ��� "� ��� ����� �� ��� ������� � ������ �� ���
<� �#���#��2��� 0 ���+� ��� ������������#� � � �� ��#�
���� � �#���#�� ��� �#������� � ��� � ����� ��+���� 1�. �� ��� � ����� ���� ��#������ +���
��#������ ��� ������� �� ������ �������� ��� ����
�� <� �� ;B� ����"�� ������� ������������#� �� ���� #���� ��� ���� �� A0� ���+� � ���� ������������#�� �� ����� #������� �� ��� ����� �+� ������ 9����
� ��������� �� ������ ������� � ��� "��� �����
2��� 7� (��� ���,�� �������� "� �� � +��� 7�B ��3 -.� �� ;B� �� ,���� #���� ���� ��� &� ������ ��� ����������� ������ ���� �� ���
&� #��#������ ��� ���� ���+�
�4 ��0��� � ��4 5 ������ '��&�� '���� ���6��� 7����8 �$�6�$1 .<B
�� ��� �#���� ����� � ��������� �� �I��#�� "���� ������ � ��� #����� "����� �� +��� �� ����#�
��������� ��� "������� �� A0� ����� ��I�#� ��#����������� �� ��� #����� "������
2��� ����� �������� ����#��� � ������� �� �����
�� ��#���� �� ������� ����� ���������� �� �� #� "�
���� ���� ��� ��#� � �#���� ���� �� ������ ������
!�+����� ������ #�������� �� ��� ���� ���
����� ������ <�� ;B� �� A0�� ��� ����#� #����#������� �� <� ����� ��� ����� ���� ;B� �� A0�
����������� �� �� ����#��� ���� �� ����� .=�� +��#��� ��� #����#�� ���� �� ��-. �������� ����� �������
��� �������� #�������"�� 608�
��� �������� � &� ������� +�� ������� +�� ���
�����# ���� � � ���,�� +�� ������ 2��� ; ���+� �
"��� ���,�� � < �����#�� ����� ������ ��������
���� . ��3 -.� �� ;B�� �� � ������ � ��� &� ,�����
��� �����#��� ���������� +��� � � .�0 � ��
� � 7�0 �� +��#� ��� � ������"�� �������� +������ ���� � 2���� . �� 0� H��� ��� &������� ��� �����
2��� .� 5�����#� � ����� ��������� ��� � ������� ��
����� �� ������ �#���� ������2��� 0� 5�����#� � �������� ��������� )�* � ������� ������� �� ������ �#���� ������
2��� ;� (��� ���,�� � < �����#�� ����� ������ �������� ���� . ��3 -.� �� ;B�� �� � ������ � ��� &� ,�����
.<A �4 ��0��� � ��4 5 ������ '��&�� '���� ���6��� 7����8 �$�6�$1
��������� ���������� #���� "� �����#��� ��� ��� �
����� �����# ���� ���,�� � ����������� +��� � �����
�������#���� ��� #��"����� � ������������ �����������
�� &� ����� ������� +���� "� ����� �� ���������
� ����� ��������� � ������+ ����� ���,����
� �����������
��� ���,��� � ����������� ����������� ��������
"� �� � +��� ����'�� "� ��� &� ������ ���
�������� ����� )�* +�� ��� �� 1� �� ����� ���������� +�� ��������� ���� �+� ����������4 �����
����� ��� �� ����#� �������� )�*� ��� � �� ������� ������� ����� � ������� �� ������ �����
��� � �� � ������ +��� �"����� �� ��� �����
�#���#� � ��� ������� �������� "���� ���� ��
���"�"�� ��� �� ��-. �������� �� +�� ���+ ����
�������� ����������� ���,��� +��� +��� �������#��
"� ��� &� ����� ��� �� � ���,�� +��� �����
���������� 2�� ������ ������"������ � ���� �����
������"���� #� "� ��������#���� �����#��� "� ����
����� ���������� �"����� ��� ��� ������� �����#�
����������
�������� �������
���� +��� +�� ��������� ��������� "� >���������
�� 5�������� ���������� �������� F��D�#� �
J������ �������� ����#������
����������
678 �� !���� ���� ����� ���� .7 )7<<;* A=0�
6.8 ��� &�"���� J� ����� F���� B; )7<@0* .AB1�
608 � !����� �� ����� ���� ����� ���� 7; )7<@<*�
�4 ��0��� � ��4 5 ������ '��&�� '���� ���6��� 7����8 �$�6�$1 .<=