6.0 RISK ASSESSMENT

1

RISK ASSESSMENT PROCESS OVERALL

Covers Safety, Health and Environment. Routine/Non-Routine and

Emergency.

2

EHS R.A.requirement

EHS R.A.procedure

Group S&HR.A.procedure

EnvironmentalR.A.procedure

ERTR.A.procedure

Medical responseR.A.procedure

Site R.A.procedure

Corporate EOHSmanualrequirement

Significant Environmentalaspects evaluationprocedure

cf) R.A. : Risk Assessment

Routine/Non-Routine

Operation tools, Equip.

Equip. Gas/Chemical

Source of hazards

Work place environment

Equip. Work place

Work

HumanHuman

Tools,

Equipments

Gas, Chemical

Training

Equip.safety

Assess hazardousEngineering control

（Safety interlock etc.）

Administrative control

（Label, Procedure, PPE）

Risk assessment

program

Safety Patrol

（Unsafe behavior, condition） Events

ＥＲＴ

Approach risk reduction

P D C A

Operation

Medical

check up

Remove hazard/Replace

With lower one

Corporate requirements

Audits

New/Revised Laws

Management review

RISK ASSESSMENT APPROACH DETAIL

Risk assessment for Daily work

Routine/Non Routine work – Daily works

Emergency response

ERT activities

Medical response – Medical site assessment

Risk assessment in Tool change management

New installation/Modification of tool and sub-

equipment

Risk assessment in Chemical management

New chemicals/Gases’ introduction

KY (Prediction of hazard)/TBM

4

自然

災害

（地震

、台

風な

ど）

Moth

er n

atur

e

サイ

ト全

体の

停電

Bla

ck o

ut

火災

、爆

発Fire,

Exp

losi

on

・

法的

要求

事項

Law

req

uire

men

ts

・ ・

種々

の危

険源

Var

ious

haz

ards

・ ・ ・

緊急事態Emergency

Ｘ Ｘ Ｘ Ｘ

日常業務での作業、設備Work/Equipm

ent Daily

Ｘ Ｘ Ｘ Ｘ

危険源 Hazards

事象

から

のア

セス

メン

トA

sses

smen

t fr

om

Eve

nts

HOW IS RISK ASSESSMENT EXECUTED

1.Assess ER events by ERT and then Train all TM during ERT training2.Assess Medical response level

Execute RA at each group and train the related members

Assess all related group by audit and/or other process

RISK ASSESSMENT FOR DAILY

ROUTINE/NON ROUTINE WORK

6

FLOW OF RISK ASSESSMENT

MSDS legalhistory/experie

nce at sitegeneral hazards in

publishment

EHSS

Tool manufacturer

EHSS/Department

Risk evaluation result at other sites

Review by Site management --> Site objectives

Department/EHSSReduce and Control Risks at Departments

EHSS

corporae

List up general hazards

Identify hazards at Site

Recognize Risks at Site

Template foridentification of hazards

Site Risk Assessmentsheet

Department RiskAssessment sheet

Show general hazards for members to identify their risks because of their not enough knowledge

Identify risks at working place by themselves with EHSS support

Recognize risks at over site by Management

Individual risk reduction work by each group

HAZARD IDENTIFICATION

MSDS legalhistory/experie

nce at sitegeneral hazards in

publishment

EHSS

Tool manufacturer

EHSS/Department

Risk evaluation result at other sites

Review by Site management --> Site objectives

Department/EHSSReduce and Control Risks at Departments

EHSS

corporae

List up general hazards

Identify hazards at Site

Recognize Risks at Site

Template foridentification of hazards

Site Risk Assessmentsheet

Department RiskAssessment sheet

Show general hazards for members to identify their risks because of their not enough knowledge

HAZARD IDENTIFICATION-GENERAL HAZARD（１）

Category Items

- law requirementNoise, Organic solvent, Special Chemical, Radiation(X-ray), Laser, Arsenic, Lead, Confined Space (Anoxia),

Dust, Work Area brightness, Overwork, VDT, Heavy Load

- Corporate requiremetWaste-Solvent, Waste-Alkali, Waste-Mixed-Acid, Biochemical Waste, Stress, Noise, Lead, Radiation, Laser,

Chemical, Mechanical Hazard, Temperature, Humidity, Compressed Gas

- Site experience/historyChemical Dispersion (Acid, HF), Mechanical Hazard(pinch finger), Chemical or Gas Dispersion at Dry

Pump/Abatement Equipment

- MSDS(Material Safety

Data Sheet)Newly Registered Hazard

- Hazards in general as

standardizing

Mechanical hazardsContact Hazard such as stuck, rolled in, cut or scratched, and bumped by Equipment related to Construction,

Commisioning test, Operation, Maintenance, Modification, Repair and Disassembling,

Constructual hazards Hazards such as Explosion, Destruction, and Cutting at Equipment, Work Area,

Hazrd list

HAZARD IDENTIFICATION-GENERAL HAZARD（２）

Category Items

Physical hazardsHazards such as Slip, Fall down, Tumble from above, Hazards of Fallen Tools and Materials, Hazards such as

Contact by Improper Interval and Bump

Electic/Electrical hazards Hazard of Shock by Contact with Live Part, Hazard of Fire caused by Short Circuit

Vibration/Noise hazardsHazard of Mechanical Vibration causes Nerve Disorder or Vessel Defect, Hazard of Noise causes Auditory

Disorder

Radiation hazards

Low Frequency, Radio Frequency Radiation, Microwave, Infrared Red, Visible Ray and Ultraviolet Ray

Radiation, X- ray and Gamma Ray, Alpha Ray, Beta Ray, Electron or Ion Beam, Neutron, Hazard of Receiving

Harmful Energy such as Laser

Materials/Elements hazards

Solvent Absorption, Gas Absorption by Chemical Reaction, Powder Dust Absorption, Toxic Substance

Absorption, Eye Damage by Chemicals, Danger of Wound by Skin Absorption, Contact Absorption, or Splash

Absorption.

Fire/Explosion hazardsExplosion by Fire Resources, Explosive Resources, and Chemical Reaction, Flammable Substance　Combustion,

Hazard of Heat Source

Transportion hazards Hazard of Liquid Outflow and Toxic Gas Occurrence as an Influence of Accident in transit

Biochemical hazards Hazard of Infection caused by Blood, Body Fluid, Virus, Bacteria, and Biohazards.

Ergonomics hazardsHazard related to Human Behavior such as Unusual Position, Inappropriate Lights, Unused of PE/Human Error,

Hazard related to Mental Strain and Stress

Hazrd list

HAZARD IDENTIFICATION

MSDS legalhistory/experie

nce at sitegeneral hazards in

publishment

EHSS

Tool manufacturer

EHSS/Department

Risk evaluation result at other sites

Review by Site management --> Site objectives

Department/EHSSReduce and Control Risks at Departments

EHSS

corporae

List up general hazards

Identify hazards at Site

Recognize Risks at Site

Template foridentification of hazards

Site Risk Assessmentsheet

Department RiskAssessment sheet

Identify risks at working place by themselves with EHSS support

Identify Tool/Work at group

HAZARD IDENTIFICATION 1ST STEP

Identify Hazards at group

Select identified Hazards at group

See whole tools/workScreening with considering hazards, #, Freq

TOOL/WORK IDENTIFICATION TABLE-AT GROUP

定常

非定常

設備 電気的危険

CategoryⅠ毒性が非常に強い臭気が弱い漏洩に気付かず

CategoryⅡ毒性が強い臭気が強い

CategoryⅢ単純な窒息性支燃性

CategoryⅣ火災･爆発

機械的危険 有機溶剤 騒音 台数

チャンバー数

AMPｘｘ（P-5000)Hbr.CH2F2Cl2

CHF3.CF4.N2.Ar.O2

IPA ﾌﾟﾚﾅﾑ 13 27 M S

AMPｘｘ（Centura) Hhr.Cl2.CH2F2N2.Ar.CHF3.CF4.O2

NF3 IPA 4 14 M S

MTLCｘ（DPS) Cl2,BCl3,NH3 CF4,N2,Ar,O2,He NF3 IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 5 20 L L

OXDFｘ（IPS) CH2F2Ar.O2.CHF3.He

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 2 6 S M

OXDEｘ（DRM) CO CH2F2.C4F6Ar.C4F8.CHF3.O2.CF4.

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 11 22 M S

OXDGｘ（SCCM) CH2F2.C2F6Ar.CF4CHF3.O2.C4F8

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 6 18 M S

OXDCｘ、Dx(UNITY PE)Ar.CF4CHF3.O2.SF6.He

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 11 22 L S

PLYDｘ（９４００）Cl2.CH2F2Hbr

O2..CF4.He.SF6.He/O2

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 3 12 M S

PLYEｘ（２３００） Cl2.Hbr.CH2F2Ar.N2.O2.He/O2.CF4

NF3 IPA 5 20 M L

OXDHｘ（EXELAM) CH2F2.C4F6

Ar.O2.CF4.N2.CHF3.C4F8.He/O2

IPA 2 8 S M

MTLBx(9600) Cl2.BCL3 Ar.O2.CF4.N2. IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 6 12 L M

PLYCｘ（M511) CL2.HBrAr.CF4.SF6.CHF3.O2.He

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 7 7 M S

PLYCｘ（M600) CL3.HBrAr.CF4.SF6.CHF3.O2.He

IPA ﾎﾟﾝﾌﾟ室 2 4 L S

NITｘｘ（R4400) SF6.He IPA 6 6 S S

メンテ頻度

LMS

GAS

共通危険源

共通危険源

Hazards # of chambers & Frequency

Tool gr.

HAZARD IDENTIFICATION 2ND STEP

Identify Tool/Work at group

Identify Hazards at group

Select identified Hazards at group

Identify area hazards and evaluation

HAZARD IDENTIFICATION EVALUATION CRITERIA

•Possibility

•Severity

•Hazard scale＝Severity ｘ Possibility（Frequency of work＋Possibility of Injury）

Score

5

3

2

1

Score

Very high probable（more than 3 times past 3 yrs） 5

3

2

1

Score

Very serious （Death） 5Serious （Accident with lost work） 4Less serious （Accident without lost work） 3Very less serious （Accident, but no hospital） 2First Aids 1

Less probable（Nothing since operation）

Severity

Frequency

Less than 1 week

1 week - 1 month

1 month - 6 months

More than 6 months

Possibility of Injury ( or Past data for reference)

High probable（1 time past 3 yrs）　

Probable（1 time past 7 yrs）　

HAZARD IDENTIFICATION TABLE-AT GROUP

TOOL構造的危険

輸送移送による危険

生化学的物質による危険

No. 作業・項目 評価項目

挟ま

れ、

巻き

込ま

れ（体

自体

が巻

き込

まれ

る）、

激突

等

切れ

、こ

すれ

、指

詰め

等

破裂

、破

壊、

切断

等

滑り

、転

び

墜落

、転

落

道具

、材

料等

の落

下

接触

、激

突等

感電

火災

機械

的振

動

騒音

低周

波、

無線

周波

放射

、マ

イク

ロ波

等

赤外

線、

可視

光線

、紫

外線

放射

、レ

ーザ

等

X線

、γ

線、α

線、β

線、

電子

又は

イオ

ンビ

ーム

、中

性子

等

有機

溶剤

（IP

A、

アセ

トン

、レ

ジス

ト他

、同

廃液

等）

特定

化学

物質

（塩

素、

フッ

化水

素、

三酸

化砒

素、

水銀

。同

廃液

等）

その

他薬

品や

毒性

のあ

る物

質、

同廃

液、

廃棄

物（ヒ

素、

鉛等

含む

）

粉塵

特殊

材料

ガス

（特

殊高

圧ガ

ス含

む）

酸素

欠乏

火災

源（特

殊材

料ガ

ス等

のガ

ス類

、溶

剤危

険物

等の

石油

、ア

ルコ

ール

類他

）

爆発

源（特

殊材

料ガ

ス等

のガ

ス類

他）

化学

反応

によ

る爆

発

熱源

液体

の流

出、

有毒

ガス

発生

等

血液

、体

液、

ウィ

ルス

、細

菌及

び同

廃棄

物

重量

物

不自

然な

姿勢

、動

作の

反動

、無

理な

動作

不適

切な

照明

、V

DT

保護

具未

使用

、ヒ

ュー

マン

エラ

ー等 精

神的

負荷

、ス

トレ

ス

①作業頻度（１－５） 5 5 5 5 5 5 5②過去の実績（１－５） 2 2 2 2 2 2 2　①＋② 0 7 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 7 7 7 7 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 0 0③重大性（１－５） 2 2 3 4 4 3 3　③＊（①＋②） 0 14 0 0 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0 21 28 28 21 0 0 0 0 0 0 0 21 0 0 0 0

①作業頻度（１－５） 5 5 5 5②過去の実績（１－５） 2 2 2 2　①＋② 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 7 0③重大性（１－５） 2 3 3 2　③＊（①＋②） 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 21 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 21 0 0 14 0

①作業頻度（１－５） 3 5 5 3 3 3②過去の実績（１－５） 2 2 2 2 2 2　①＋② 0 5 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 7 7 0 0 0 0 0 0 0 5 0 0 0 5 0 5 0③重大性（１－５） 3 3 2 2 2 3　③＊（①＋②） 0 15 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 21 14 0 0 0 0 0 0 0 10 0 0 0 10 0 15 0

①作業頻度（１－５） 5 5 5 5 5 5②過去の実績（１－５） 3 2 2 2 2 2　①＋② 0 8 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 7 7 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 7 0 0 7 0③重大性（１－５） 3 3 2 2 3 2　③＊（①＋②） 0 24 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 21 14 0 0 0 0 0 0 0 14 0 0 21 0 0 14 0

①作業頻度（１－５） 5 5 5 5②過去の実績（１－５） 3 2 2 2　①＋② 0 8 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0③重大性（１－５） 2 2 3 2　③＊（①＋②） 0 16 0 0 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0 21 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 14 0

①作業頻度（１－５） 5 5 5②過去の実績（１－５） 2 2 2　①＋② 0 7 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0③重大性（１－５） 2 2 3　③＊（①＋②） 0 14 0 0 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0 21 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0

6

ポンプ整備

パーツ研磨

5CMP

HEAD整備

1

2

3

4

IMPHEAD整備

チューブクリーン

カラム・ボトル交換作

業

キットクリーン

材料および物質から起こる危険火災、爆発および高温による危険

人間工学的な面からの危険機械的危険（接触的危険

物理的危険電気的危険

振動、騒音による危険

放射線による危険

17

TOOLConstructive

No. Work Items Assess

挟ま

れ、

巻き

込ま

れ（体

自体

が巻

き込

まれ

る）、

激突

等

切れ

、こ

すれ

、指

詰め

等

破裂

、破

壊、

切断

等

滑り

、転

び

墜落

、転

落

道具

、材

料等

の落

下

接触

、激

突等

感電

火災

機械

的振

動

騒音

低周

波、

無線

周波

放射

、マ

イク

ロ波

等

赤外

線、

可視

光線

、紫

外線

放射

、レ

ーザ

等

X線

、γ

線、α

線、β

線、

電子

又は

イオ

ンビ

ーム

、中

性子

等

①Freq.（１－５） 5 5②Poss.（１－５） 2 2　①＋② 0 7 0 0 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0③Severity（１－５） 2 2　③＊（①＋②） 0 14 0 0 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0

①Freq.（１－５） 5②Poss.（１－５） 2　①＋② 0 7 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0③Severity（１－５） 2　③＊（①＋②） 0 14 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0

①Freq.（１－５） 3②Poss.（１－５） 2　①＋② 0 5 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0③Severity（１－５） 3　③＊（①＋②） 0 15 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0

1

2

3

IMPHEAD

cleaning

Tube, Boatclean

Column,Bottle

exchnage

Mechanical Physical ElectricalVibration,

NoiseRadiation

HAZARD IDENTIFICATION TABLE-AT GROUP

Select identified Hazards at group

HAZARD IDENTIFICATION 3RD STEP

Identify Tool/Work at group

Identify Hazards at group

High scored one as Group/area hazard

HAZARD IDENTIFICATION TABLE-AT SITE

Hazard identification

S H LOL Team / / / / / / / /

Tool/WorkRoutine/Non-R

Categorized work Hazard1 Hazard2 Hazard3 Hazard4 Hazard5 OthersFreq1,2,3,5

Possbl1,2,3,5

ECTH MTLCｘRoutine/Non-R

DPS C/C Electric Fallen downHeavy material

Chemical Mechanical Electric 4 5 1 24

Fallen down 4 5 1 24

Heavy material

3 5 2 21

Dept

Descr

EHSS

No.Hazard identification

Highest Hazard

Severity

1-5

Possibility

CONSIDERATION OF RISK REDUCTION

Consider risk reduction activities against the identified risks by

each group

List up all possible risk reduction activities from the point of

Safety/Health

①Remove a hazard or replace with lower risk hazards by design change and

etc. (Essential safety)

②Apply Engineering control such as Safety Interlock etc.

③Apply Administrative control such as Work procedures, Training and

Label/Display etc.

Prepare PPE (Personal Protection Equipment) as usual condition

Assess Practical concern against risk reduction activities

Estimate mitigations when activities would have done (how much

reduces risks)

Effectiveness

Tools orwork

Detail ofwork

Identifiedhazrad ashighest

Severity(S)1-5

Frequenvy(F)1,2,3,5

Injurypossibility(P)1,2,3,5

HazardscaleＳｘ（Ｆ＋Ｐ）

Categories ofactivities

Activites in detail

Ablity ofchange（Constrain,Ability）

Complexity ofchange（Cost, Effectto Production,Process andResources）

Mucahnism ofpossibleactivities（Technology,Execution）

EvaluationpracticalassessmentＡｘＣｘＭ

Severity(S)1-5

Frequenvy(F)1,2,3,5

Injurypossibility(P)1,2,3,5

HazardscaleＳｘ（Ｆ＋Ｐ）

PracticalｘMitigation（before－after）

0 0 0 0

0

0 0 0 0

Risk reduction activities MitigationPractical assess

No.

Hazard identification Severity and Possibility

①Remove orreplace withlower risks

②Engineeringcontrol such asSafety interlock

③Administrativecontrol such asPorcedure,training etc.EVALUATION OF EACH ACTIVITY

Transfer data from Hazard identification sheet

Consider all possible activities Practical assessment

Evaluation mitigation

Effectivenessfor reference

EFFECTIVENESS OF POSSIBLE ACTIVITIES

Evaluation

Practical evaluation x degree of mitigation (before – After)

Larger Practical evaluation

Larger degree of mitigation

⇒ Larger effectiveness of executing possible

activities

Reference for prioritizing reduction activities

A (ABILITY OF CONTROL)：POSSIBILITY OF CHANGE

リスクを低減するために

変更できるか？

[A] 管理しやすさ: 被害や危険を減らすことができるか（そのような管理はある程度限

度があることを認めるけれども）

完全にMJPで管理できる。すなわち工程を変更し得る(技術が

ある、即ち適用可能である)。ｺｰﾎﾟﾚｰﾄ/国/顧客/供給者からｻ

ﾎﾟｰﾄ/認可/承諾が必要ではない。

ｺｰﾎﾟﾚｰﾄ/国/顧客/供給者からｻﾎﾟｰﾄ/認可/承諾を得た上で管理できる。

管理できない。しかし影響されるものがある。 供給者にケミカルの不純物、標識、緊急遮断装置等の改善を要求した場合。

2有る程度影響

される

1

PC: Practical Concern　(実行の懸念）

4完全に管理で

きる

3一部管理でき

る

全く管理できる可能性がない。より良い技術を適用できないこと、規格が制定されといること、又は顧客によって仕様が指定されることにより制限がある場合。

管理できない

変更に対する制約

何の制約もなくできる

承認なしで通知程度で制約を外し対応できる

特別な承認で制約を外し対応できる

顧客や法等種々の制約で何もできない

技術がない

変更する能力

自分達でリスクを減らすことができる

一部外部からのサポートを得て主に自分達でリスクを減らすことができる

全面的に外部からのサポートを得てリスクを減らすことができる

1.Constrain to change2.Ability to change

C (COMPLEXITY)：DIFFICULTY OF CHANGE

リスクを低減するために

変更が大変か？ （人、物、金）

4 低い どんな活動/工程にの混乱の原因にもならないし、他に影響しない。設備投資不要、コスト無 影響なし担当者レベルトレーニング不要

3 普通 少し混乱する、しかし他の活動/工程にはなんら変わりがない。少額($1,000以下)設備投資、又は、経費で可

プロセス変更不要、若干の設備変更要、無視できる生産インパクト有

チームレベルで複数メンバー（負荷少）関与トレーニング対象小規模（事務局/チームレベル対象）

リソース/トレーニング規模

チーム/グループレベルの複数メンバー関与トレーニング対象中規模（事務局とマネージャーレベル、グループ/セクションレベル対象）

多くのメンバーの関与トレーニング対象大規模（オペレータレベル、ほぼ全社員対象）

2 高い

1 場合による

[C] 変更の複雑さ: 混乱の、そして可能性の程度。改善手段を実施する為

に他の活動/工程に影響する。

混乱し、他の活動/工程に小さな変更が必要になる。変更点は、すぐに確定できる。

混乱し、他の活動/工程に大きな変更が必要になる。変更点は、すぐに確定できない。

PC: Practical Concern　(実行の懸念）

コスト

高額な設備投資、経費要

中程度($10,000以下)設備投資で可

生産、プロセスへの影響

複数（メジャー）プロセス/多くの設備の変更要、無視できない生産インパクト有

該当プロセスのマイナー変更要、ある程度の設備変更要、若干の生産インパクト有

1.Cost2.Affect to Production and/or Process3.Affect to Resources

M (MECHANISM OF CONTROL)：DEGREE OF

ENGINEERING, EXECUTION COMPLETION

リスクを低減するために

これまでにどれだけ対策がされているか？

4 乏しい 被害を減らすための手段を講じていない。何ら対策技術を検討していない

何ら対策していない。対策の余地十分にある。

1 効果的 十分に被害を最小化する効果的な対応が取られている。考えうる対策技術全て検討済み

考えられる対策済み。ﾘｽｸはほとんど除去。

対策実施レベル

対策するも不十分。改善の余地ある。

できうる対策済み。ﾘｽｸ低減している。

十分ではないが、対応は取られている。しかし潜在的被害は減らせそうも無い。

3 不十分

[M] 管理機構: 実施、技術の程度、又は既に被害を低減する為にとられた

管理方式

PC: Practical Concern　(実行の懸念）

ほぼ技術検討できている

対策技術レベル

2 十分満足いく対応が取られている。そして、潜在的被害を減らすことを助けている。

技術検討するも不十分である

1.Degree of Engineering study2.Degree of Execution activities

SITE RISK ASSESSMENT

MSDS legalhistory/experie

nce at sitegeneral hazards in

publishment

EHSS

Tool manufacturer

EHSS/Department

Risk evaluation result at other sites

Review by Site management --> Site objectives

Department/EHSSReduce and Control Risks at Departments

EHSS

corporae

List up general hazards

Identify hazards at Site

Recognize Risks at Site

Template foridentification of hazards

Site Risk Assessmentsheet

Department RiskAssessment sheet

Recognize risks at over site by Management

SITE RISK ASSESSMENT TABLE

OHS RISKS ASSESSMENT　（ｻｲﾄﾘｽｸｱｾｽﾒﾝﾄ ﾌｫｰﾏｯﾄ例）

M--Mechanism of Control (管理のメカニズム)

F S EImpact

FxSxEA C M

Impact

AxCxM

Y/

N

高所からの転落 3 4 1 12 4 3 2 24 36 3

挟まれ 3 3 1 9 4 3 1 12 21

巻き込まれ（体自体が巻き込まれる）

3 3 1 9 4 3 1 12 21

電気的 3 3 1 9 2 3 2 12 21

滑り、転び 3 3 1 9 2 4 2 16 25

重量物 3 2 1 6 2 3 2 12 18

皮膚吸収、接触・飛散吸収による薬傷

2 2 1 4 4 3 2 24 28

密閉空間（酸素欠乏危険症)

1 4 1 4 4 3 2 24 28

AsH3ボトル交換毒性のある物質の吸入

3 4 1 12 3 3 3 27 39 1

BF3 Bottle 交換毒性のある物質の吸入

4 3 1 12 3 3 3 27 39 1

6 week regular PMC/C

毒性のある物質の吸入

4 3 1 12 3 3 2 18 30 8

巻き込まれ（体自体が巻き込まれる）

2 3 1 6 2 3 2 12 18

切断等 2 3 1 6 2 3 2 12 18

廃アルカリ原液タンク洗浄作業FAC DIW Gr

酸/アルカリＳＲＢ排気ファンＶベルト交換作業

（騒音・重量物・大プーリー）FAC HVAC Gr

PE IMP

排気設備の切り替え。（酸・ｱﾙｶﾘ・溶剤・一般）

Fac AB&CGr

MTLCXDPS C/C

PE ETCH

Impact

Significan

ce

(SC+PC)

(ｲﾝﾊﾟｸﾄの重大性）

Safety Concern (SC)

(安全関係）Practical Concern(PC)

（実施関係）

Rank

（ﾗﾝｸ）

Impact Criteria　(ｲﾝﾊﾟｸﾄの区分）

実施部署

Date Performed(実施日）:

Performed by（実施者）:

F--Frequency of Occurrence （発生の頻度）

E--Environmental Risk (環境のリスク)

S--Safety Risk　（安全のリスク）

A--Ability to control (管理のしやすさ)

Reviewed by（見直し者）:

Area/Process

(エリア・プロセス） Type of Hazard

（危険のﾀｲﾌﾟ）

C--Complexity of change (変更の困難さ)

*

(ｼﾅﾘｵ)

Activity Description

（活動の名称）

R

（法規制）

INPUT TO MANAGEMENT FROM RISK ASSESSMENT

Input

Higher risks at MJP

Prioritized risk reduction activities

Process through Reviewing

Recognize Site risks

Review effectiveness of recognized risks and

prioritized activities with EHSS performance

Output

Reflect to Annual EHSS activities plan over site

Specify risk reduction activities if necessary

28

平成29年7月

FUTURE RISK ASSESSMENT

PHA (Process Hazard Analysis)

Human Work Tool (System) Failure

1.What If or FMEA base2.Systematic Tool

Tool failure3.a) Severity and possibility4. a) Specialty Chemicals

Especially Hazardous(legal specialty chemical)

b) Key tools for production& Single system

1.Procedure Base2.Stand alone Tool

Normal work (basically)3.a) Severity and possibility

b) Practical Concern

1.Method 手法2.Objective 分析対象3. Scoring 点数付け4. Prioritize 優先付け

System example : Tool-Vacuum Pump-decontamination unit

PHA DETAIL PROCEDURE

Leader : Engineer

Member :

(FAC) Eng, Maintenance, Operation, Risk coordinator

(PE ) Eng, Maintenance, Risk coordinator

Key point of Analysis

Free Discussion

Majority vote for final decision

Free from Prejudice

Preparation

Layout / Flow Sheet / Tool Diagram

Work sheet (draft for Env. RA)

平成29年7月