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Ultimate partial pressure without gas ballast Ultimate total pressure without gas ballast

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leybold Oerlikon Leybold Vacuum Full Line Catalog 2013 77

D 2,5 E D 2,5 E

D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B D 16 B

D 8 B D 8 B D 25 B D 25 B

16 KF 16 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF

60 60 145 145 285 285 285 285

1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5 1 x 10-5

90 90 90 90 90 90 90 90

Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6 Polyamide 6

1) When using the reducer, an elbow is required

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l1

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SW 17b1

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SW 6

G1/4" BPS

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M16 x 1,5

l

l2

SW 19

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Hose nozzlel1

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Total Pressure with gas ballastTotal Pressure without gas ballast

Partial Pressure without gas ballast

10-210-3 10110010-1 102Torr 10310-410-5 2 4 6 8

Pressure

10-2

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100

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2

Pum

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Total Pressure with gas ballast

Total Pressure without gas ballast

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10-210-3 10110010-1 102

Torr10310-410-5

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Pressure

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Pum

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D 4 B

D 8 B

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Total Pressure with gas ballast

Total Pressure without gas ballast

Partial Pressure without gas ballast

D 65 B

D 40 B

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Torr10310-410-5

2 4 6 8

Pressure

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101

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2

Pum

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