Презентация насосов серии GV-Drystar и

технологии безмаслянной откачки

Безконтактный когтевой механизмСамоизолирующий принципЭффективный коэффициент сжатияПолное отсутствие масла в объемеРегулируемая температура корпуса

• Лучшие условия для откачки паров

Надежный и простой механизм• Устойчив к транспортированию пыли

Газобалластное устройство большой емкости • Предотвращение конденсации• Безопасная откачка опасных сред

ИДЕАЛЬНЫЙ МЕХАНИЗМ ВАКУУМНОГО НАСОСА

Принцип работы

Механизм с когтевым захватом• Эффективное сжатие потока• Простой, компактный механизм

3х ступенчатый механизмЗапатентованный механизм обращенной формы ротора

• 2ая ступень насоса имеет обратную остальным ступеням форму

• Более короткий газовый тракт• Максимальная скорость газового потока,

малое время цикла

Принцип работы

Когтевой механизм в действии

Впуск газа

Впуск газа

Конец стадии впуска газа

Впуск и выпуск насоса изолированы

Стадия сжатия

Выпуск газа

Разрез когтевого насоса с дополнительной ступенью Рутса

Газовый тракт

BOC Edwardsзапатентовано

Откачные агрегаты с насосами Рутса

Усиление откачки: глубина откачки/скорость откачкиПривод с гидрокинетической муфтой

• Меньшее энергопотребление, Отсутствие байпассных линий и реле давлений

• * - некоторые ограничения при продолжительной работе на давлениях выше 100 Torr

Механические бустеры

Механические бустеры серии EH

• Диапазон производительности250-4200 м3/ч

• Запатентованный гидрокинетический привод

• Версии привода вращения с углеводородным либо фторсодержащим маслом

• Давление запуска - атмосфера

• Уникальное уплотнение вала вращения

Схема – разрез насоса Рутса

Впуск

Газовый поток

Сопрягающиеся ротораВыпуск

СТАДИИ РАБОТЫ НАСОСА РУТСА

выпуск

впуск

1

12

3

456

Обратный поток в области низкого вакуума

Обратный поток Стадия сжатия

Преимущества запатентованной технологии

Гидро-привод

Преимущества запатентованной технологии

Параметры насосов Рутса

Насос Рутса не является компрессором, и предназначен для транспортирования больших объемов газаНасос Рутса работает при определенном перепаде давленийДля работы необходим форвакуумный насосНаиболее эффективная откачка в диапазоне давлений от 1 до 10-2 мбарРабочий зазор 0.1-0.5 мм Скорость откачки от 150 до 30,000 м3ч-1

Особенности Технологии

BOCE – использует только безмаслянные агрегаты откачки на основе когтевых насосов производительностью от 40 м3/ч до 600 м3/ч.

Бесконтактный износоустойчивый механизм

Короткий газовый тракт – без необходимости установки межступенчатых газоохладителей

Высокая компрессия потока позволяет эффективно транспортировать потоки с высоким содержанием пыли и частиц

Преимущества «сухих» насосов

Стабильность процесса откачки

Высокий предельный вакуум

Высокая производительность

БЕЗМАСЛЯННЫЙ ВАКУУМ – ЧИСТЫЙ ПРОЦЕСС

КРИВЫЕ ОТКАЧКИ

Vacuum Pump Comparison

0

100

200

300

400

500

600

700

800

900

1000

0.00001 0.0001 0.001 0.01 0.1 1 10 100 1000

Pressure mbara

Cap

acit

y M

3/h

r

EH500 + GV160

MB400 + KTC112

EH1200 + GV160

Достоинства предлагаемой системы

ЭКОНОМИЧНОСТЬ: Отсутствует масло: отсутствует масляный фильтр, нет необходимости в утилизации отработанной жидкости, нет необходимости в фильтрах масляного туманаУвеличивается производительность производстваПростое обслуживание: не требует замены масла, не требует смены масляного фильтра, периодичность кап.ремонта 6 лет, нет протечек масла, нет потерь вакуума.Простое обслуживание пылевых фильтров: сетчатые очищаемые экраныСокращение времени откачки: требуется меньшее количество операций по чистке вакуумной магистрали

(допускаемая зернистость пыли <50 микрон) меньшее газовыделение

Преимущества предлагаемой системы

Улучшенное качество проведения технологического процесса:Значительно меньшие вибрацииВысокое качество вакуума ( время откачки & стабильный уровень рабочего вакуума ): отсутствие углеводородов или двуокиси кремния в расплаве и рабочей камере.Повторяемость откачных характеристик от цикла к циклуОтсутствие масляных протечекСтабильность откачных характеристик от условий окружающей среды ( «сухие» насосы имеют высокую производительность по откачке паров )Большая производительность по Аргону ( специально адаптированное рабочее тело насоса )

Мониторинг системы, Возможность сигнализации

Технические параметры GV160Тип уплотнения Безмаслянный

Тип насоса GV160

Откачиваемая среда Ar с высоким содержанием SiО

Производительность (м3/ч) 200Давление на входе (A) 0.01мбар 0.001мбар ( с

насосом Рутса)Температура на входе в насос (oC) 20Давление на выходе (барA) 1.13Потребляемая эл.энергия (кВт) 4.2Установленная мощность (кВт) 7.5Тип привода прямойОхлаждающая жидкость ВодаТемпература охл.воды (oC) 20Расход охл.воды (л/мин) 25 (при установке

термоклапана расход уменьшается)

Измеренный уровень шума на расстоянии 1 м <79дБ’

Технические характеристики EH1200

Тип уплотнения Безмасляный

Тип насоса EH1200Рекомендуемое масло на выборПроизводительность (м3/ч) 1000

Входное давление (A) 1013 до 0.001 мбар

Температура на входе (oC) 20Выходное давление требует фор.насосаПотребляемая эл.энергия (кВт) менее 3 (в

зависимости от уровня

вакуума) Установленная мощность (кВт) 3

Тип привода гидрокинетическая муфта (не требуется доп. переключателей)

Тип охлаждения Воздух ( Вода по требованию)

Температура охл. воды (oC) 20Расход охлаждающей воды (л/мин) 2 ( если есть)Измеренный уровень шумаНа расстоянии 1 м <77дБ

Стоимость компонент системы

Вакуумпровод деталировка:

Drystar GV160+EH1200

= 36.400 ЕВРО

Входная пылевая ловушка ITM 3000 (50 микронная сетка)

= 3.022 ЕВРО

Изолирующий клапан с ручным приводом QSB 160 =2.146 ЕВРО

Фильтр-глушитель ITM 3000

= 3.022 ЕВРО

ИТОГО = 44.590 ЕВРО

Объем Поставки

BOC Edwards GV160 Drystar/EH1200 откачная система, включая:

• BOC Edwards Drystar GV160 вакуумный насос, включая: Электродвигатель WEG 7.5 kW 415/3/50. Встроенная система охлаждения, включая ручной

термоклапан Danfoss с термостатом (TCV-1) Термо-сигнализация.• EH 1200 насос Рутса, включая электродвигатель 3 kW

415/3/50 • Входная пылеулавливающая ловушка ITM3000

(нерж.сталь).• Изолирующий клапан QSB 160• Выходной фильтр-глушитель ITM3000 (нерж.сталь) – по

требованию

Обсуждение предагаемых вариантов

Предлагаемые варианты вакуумных насосов были выбраны, из спектра наиболее используемых в данной области промышленности в странах Европы, США и Японии Выбор агрегата согласуется с требуемой производительностью и собственными параметрами насосовПредлагая комбинацию GV/EH безмаслянных насосов, компания считает данный тип оборудования наиболее подходящим для Вашего тех.процесса. При необходимости компания, также, может предложить агрегаты меньшей производительности. Обращаем Ваше внимание, что компания может поставить насосы с масляным уплотнением, если будет принято решение в их необходимости.

Основные параметры предлагаемой системы

Соответствие требованиям по вакууму и надежный механизм насоса

По окончании каждого цикла требуется продувка насоса потоком аргона ( 20 л/мин в течении 10 мин. )

Достигаемый вакуум при рабочем потоке аргона (10 Torr / 30 slm Ar )*.

* Не обеспечивается при эксплуатации золотниковых насосов

Объем поставки, Киев ПИЛАР

Вакуумная схема установки.

Деталировка ( насос, входной фильтр, запорная арматура, коммуникации, выходной фильтр )

Соответствие, имеющимся требованиям (присоединительные фланцы, эл.питание)

Деталировка выхлопной линии ловушка + очистка выхлопа ( Ar + SiO, не должны быть подключены к фильтрам масляного тумана)

BOCE пусконаладка и гарантийное обслуживание

Сравнения стоимости эксплуатации насосов

Стоимость эксплуатации

€ 17 000

€ 22 000

€ 27 000

€ 32 000

€ 37 000

€ 42 000

€ 47 000

€ 52 000

€ 57 000

€ 62 000

€ 67 000

0 1 2 3 4 5 6 7

Год эксплуатации

ка

пи

та

ло

вл

ож

ен

ия

"сухие" насосы

ПРМ насосы

ЗМ насосы

Габаритные размеры предлагаемого оборудования

GV 160 / EH 1200 комбинацияДлина: 1213 ммШирина: 550 ммВысота: 975 ммВес нетто, (без масла): 500 кг

замечание•Размеры приведены для справки и подлежат уточнению при проектировании установки

Пусконаладочные работы и обучение

Подробный инструктаж по обслуживанию

насосов на месте

Капитальный ремонт раз в 6 лет, согласно рекомендациям по эксплуатации

УСЛОВИЯ ПОСТАВКИ

Срок поставки - 10 недель

Проектная документация по замене масляных насосов на «сухие» насосы (деталировка вакуумпроводов, сборочные чертежи, схемы подключения инженерных коммуникаций)

2 года гарантии

РЕФЕРЕНЦИИ

Полупроводниковое производство Bullen, США эксплуатирует данные насосы уже более 5ти лет. На откачке основной камеры используется комбинация насосов GV160-EH1200, и насосы GV160 для откачки шлюзовых камер.

Данные насосы оборудованы системой продувки и шумоизолирующим корпусом, а также интегрированы с управляющей ЭВМ. В процессе эксплуатации установки насосы требовали минимум технического обслуживании и надежно зарекомендовали себя при работе во внештатных ситуациях.

При имевших место прорывах входного фильтра чатицы SiO попадали в рабочую полость насоса. Когтевой механизм GV насоса позволяет транспортировать газовые потоки с высоким содержанием пыли и создает избыточное давление, достаточное для удаления твердых включений на выхлоп.

СЕРВИС И ОБСЛУЖИВАНИЕ ПРЕДЛАГАЕМОГО ОБОРУДОВАНИЯ

BOC EDWARDS обеспечит производства инженерами из местных представительств для запуска, обслуживания и ремонта оборудования.

Каждое представительство имеет сервис центр с достаточным набор услуг и сервис-инженерами, прошедшими всестороннюю подготовку по обслуживанию оборудования BOC EDWARDS.